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GB/T 33555-2017 洁净室及相关受控环境 静电控制技术指南

发布时间:2022-05-09 16:49人气:

1 范围

      本标准给出了洁净室及相关受控环境控制静电的术语和定义、静电控制、培训与规范等要求。

      本标准适用于洁净室及相关受控环境的静电控制。

2 规范性引用文件

      下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

      GB 4824—2013 工业、科学和医疗(ISM)射频设备 骚扰特性 限值和测量方法

      GB/T 18202 室内空气中臭氧卫生标准

      GB 50073—2013 洁净厂房设计规范

      IEC 61340-5-1 电子设备的静电防护 通用要求(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-General requirements)

      IEC/TR 61340-5-2 电子设备的静电防护 用户指南(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena—User guide)

      IEC 61340-5-3 电子设备的静电防护 静电敏感设备包装特性和要求分级(Protection of electronic devices from electrostatic phenomena-Properties and requirements classification for packaging intended for electrostatic discharge sensitive devices)

3 术语和定义

      下列术语和定义适用于本文件。

3.1

      静电耗散材料 static-dissipative materials

      表面电阻率在105Ω〜1012Ω之间,或体积电阻率在104 Ω▪cm〜1011 Ω▪cm之间的材料。

3.2

      静电场 electrostatic field

      静电荷在其周闱所激发的电场,基本特征是在压差作用下,对位于该场中的其他电荷施以作用力。

      注:改写 GB/T 15463—2008,定义 3.3。

3.3

      静电势 electrostatic potential

      一点与另一个规定参照点之间的电位差。

3.4

      静电控制 electrostatic charge control ; ESCC

      对于定产品或工艺,将静电效应控制在允许限度之下的,由设施、材料、附件、操作规程构成的系统。

3.5

      静电放电 electrostatic discharge ; ESD

      静电势不同的物体,因接近或接触导致静电荷的转移。

3.6

      静电放电控制 electrostatic discharge control; ESDC

      限制或消除静电荷的传递。

3.7

      衰减时间 decay time

      静电势衰减至初始值的某一规定比值(一般规定为初始值的10%)所消耗的时间。

4 静电控制

4.1 静电来源、危害及监测

4.1.1 来源

      常见的静电来源有:工艺设备、某些塑料、人的活动。绝缘体(通常为合成材料)上的电荷不易转移, 若不与其他导体接触,绝缘体上的静电电压可能非常高。

      表1列出受控环境中容易出现静电的地方。

      表2列出因人的活动产生的静电电压。

表1.jpg

以上为标准部分内容,可点击下方链接下载标准全文:

下载地址:《GB/T 33555-2017 洁净室及相关受控环境 静电控制技术指南.pdf

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