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GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南

发布时间:2022-05-09 18:06人气:

1 范围

      本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。

      本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。

      本标准不适用于核能和军事应用。

2 规范性引用文件

      下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

      GB/T 25915.8—2010 洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级(ISO 14644-8:2006, IDT)

3 术语和定义

      下列术语和定义适用于本文件。

3.1

      空气分子污染 airbme molecular contamination; AMC

      以气态或蒸汽态存在于洁净室及相关受控环境中,可危害产品、工艺、设备的分子(化学的、非颗粒) 物质。不包含生物大分子。

      注:空气分子污染即空气化学污染。

3.2

      环境反应监测法 environmental response monitoring methods ; ERMs

      综合监濯腐蚀性气体对芯片的腐蚀程度的方法。

      注:将环境反应采样片(ERCs)放在各个待测区域,如新风机组的进出口,循环风机组进出U等,时间是以30天为一个周期,观察采样片厚度的变化,以A(Angstrom)为单位。

3.3

      污染物 contaminant

      能对流体的预期使用产生负面影响的物质(固体、液体和气体)。

3.4

      气相空气净化装置 gas phase air cleaner device;GPACD

      能去除特定的气体和蒸汽等气相污染物的组装设备。

      注:在本标准中即化学过滤器,化学过滤器属于气相空气净化装置的一种。

3.5

      空气化学污染 air chemical contamination

      气相的非颗粒物质,其化学性质对产品、生产工艺或设备产生不利的影响。

4 污染源、分级与分类

4.1 污染源

4.1.1 室外环境的空气污染物:SO,、VOCs、O八NH八HzS'HQ等。

4.1.2 作业人员携带:汗水(NH3)、K离子、PVC手套、香水、发胶等。

4.1.3 制程逸散:制程化学原料——光刻胶、清洗剂、显影剂、去光阻剂、特气泄漏等。

4.1.4 洁净室用材“释气”和设备泄漏:涂料、各类密封胶、期料材质、机台维修等。

4.2 分级与分类

4.2.1 一般的分级见 GB/T 25915.8—2010 中表 1。

4.2.2 微电子和光电子领域的分类与分级参见附录A。

5 检测

5.1 单项污染物检测参见附录B中

5.2 环境反应监测法(ERMs)参见B.3。

      注:5.2是采取较长时间的取样方法,通过检测判定分子污染统合影响.

6 空气化学污染控制

6.1 确定是否污染及情况

      定性确定是否有空气化学污染。如有,需分析测定污染物的类型和浓度范围。

6.2 控制措施

6.2.1 采用化学过滤器并根据污染物和控制目标,对空气化学过滤器的过滤介质(如活性炭、改性活性炭等)的有效性、装填密度,过滤器的设计、加工的优劣(防止沟流)等进行分析并选择。

      注:化学过滤器的性能及检测参见GB/T 36370-2018。

6.2.2 实时监测化学过滤器的出风口,如遇出风口气流中污染物浓度超出规定的标准则应立即更换。

      注:空气化学过滤器使用寿命通常为一年,该指标是在标潴指定试脸条件下测定的结果,与实际使用条件有偏差, 只能作为参考。

6.2.3 控制化学分子污染设施系统参见附录C。

6.2.4 微电子工业洁净室空气化学污染控制参见附录D。

 

以上为标准部分内容,可点击下方链接下载标准全文:

下载地址:《GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南.pdf

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