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电子工业洁净厂房洁净室型式、布置和综合协调要求

发布时间:2022-05-31 17:19人气:

一、洁净室型式

1. 洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等,也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。

2. 电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间,应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。

3. 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定,各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时,宜采用微环境等型式。

二、洁净室布置和综合协调要求

1. 洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区,并应符合下列要求:

      (1)洁净室(区)人员净化、物料净化和各种辅助用房,应合理分区布置;

      (2)生产工艺或生产设备有特殊要求时,宜分隔为单独的房间;

      (3)生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔;

      (4)发热量、发尘量大的生产工序或生产设备,宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置;

      (5)洁净室(区)的辅助设备、维修间等技术支持区,宜集中布置在洁净室(区)的相邻房间,技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室(区)的等级;

      (6)若需在洁净室(区)内设置洁净电梯时,应采取气闸间、洁净送风措施;

      (7)应符合有关防爆、防火、消防等要求。

2. 洁净室(区)的空间布置应满足下列要求:

      (1)生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置,并应做到有效、灵活和操作方便;

      (2)各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要求,

      (3)终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布置,应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求;

      (4)洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。

3. 洁净室(区)内应少分隔,但下列情况应予分隔:

      (1)按火灾危险性分类,甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间,或有防火分隔要求时,应设隔墙;

      (2)在电子产品生产过程中,经常不同时使用的两个生产区段或房间之间;

      (3)生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序、设备,宜分隔设独立房间。

4. 洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要。

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