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电子工业洁净厂房设备及工器具设计要求

发布时间:2022-05-31 21:44人气:

电子工业洁净厂房设备及工器具设计要求如下:

1. 洁净室(区)内应采用具有防尘、防污染的生产设备和辅助生产设备,并应符合下列要求:

      (1)表面应光洁、易清洁、不积尘、不挥发化学物质;

      (2)设备的传动部件等应密封性能好,并应防止润滑油、冷却剂等的泄漏;

      (3)对生产中发尘、排热量大或排出有毒、可燃气体的设备,应采取防扩散措施,

      (4)设备的金属外壳应设置接地设施。

2. 当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室(区)时,宜采取密封隔断措施。

3. 洁净室(区)内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超过洁净室噪声容许值时,应采取隔声措施。

4. 洁净室(区)应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施。

5. 洁净室(区)内,电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送,宜采用专用容器。用于存放和传送的专用容器,应符合下列规定:

      (1)制作材料应光洁、不吸湿、不锈蚀、不散发污染物、防静电,并在空气中不应被氧化;

      (2)应密封性能好;

      (3)当存放物有严格的洁净度要求时,宜充填高纯度或干燥氮气;

      (4)构造、外形应满足生产工艺要求,并应方便操作和运送。

6. 洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定:

      (1)使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统;

      (2)对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时,应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分;

      (3)传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。

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