1. 空气过滤器的选用和布置应符合下列要求：
（1） 空气过滤器应根据空气洁净度等级选用；
（2） 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量；
（3） 中效（高中效）空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段；
（4） 高效（亚高效）空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端；超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端；
（5） 同一净化空调系统内末端安装的高效（亚高效、超高效）空气过滤器的阻力、效率应相近；
（6） 同一净化空调系统内末端安装的高效（亚高效、超高效）空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近；
（7） 对化学污染物有控制要求的洁净室（区），在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置；
（8） 高效（亚高效、超高效）空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。
2. 风机过滤器机组的设置应符合下列要求：
（1）应根据空气洁净度等级和送风量选用；
（2）应按洁净室（区）内生产工艺对气流流型的要求布置，
（3）终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定；
（4）送风量应能调节；
（5）应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时，外壳强度应满足检修要求。
3. 层流罩的设置应符合下列要求：
（1）洁净室（区）内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩；
（2）层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用；
（3）终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定；
（4）安装方式不应影响生产操作。
4. 微环境装置的设置应符合下列要求：
（1）当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对湿度有较高要求，且所控区域不大时，宜采用微环境装置；
（2）微环境装置宜与生产工艺设备配套；
（3）在不影响工艺操作的前提下，应具有可靠的密闭性，内外表面应平整、光滑；
（4）围挡构造、材料的选用应方便生产操作。
5. 干表冷器的设置应符合下列要求：
（1） 安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定；
（2） 迎面风速、结构形式应根据洁净室（区）冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定；
（3） 冷冻水进水温度，宜高于洁净室（区）内空气的露点温度；
（4） 应设置排水设施。
6. 净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要求：
（1）应有良好的气密性，漏风率不得大于1％；
（2） 整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整、光滑，外表面不应结露；
（3） 布置应整齐，并应便于运行和维修；当多套空气处理机组为同一洁净室（区）服务时，宜选用相同规格的空气处理机组；
（4） 送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时，中效（高中效）、高效（亚高效、超高效）空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；
（5） 应设置排水装置。
