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电子工业洁净厂房空气净化设备设计要求

发布时间:2022-06-01 17:50人气:

1. 空气过滤器的选用和布置应符合下列要求:

      (1) 空气过滤器应根据空气洁净度等级选用;

      (2) 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量;

      (3) 中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段;

      (4) 高效(亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端;超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端;

      (5) 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近;

      (6) 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近;

      (7) 对化学污染物有控制要求的洁净室(区),在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置;

      (8) 高效(亚高效、超高效)空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。

2. 风机过滤器机组的设置应符合下列要求:

      (1)应根据空气洁净度等级和送风量选用;

      (2)应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置,

      (3)终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;

      (4)送风量应能调节;

      (5)应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时,外壳强度应满足检修要求。

3. 层流罩的设置应符合下列要求:

      (1)洁净室(区)内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩;

      (2)层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用;

      (3)终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;

      (4)安装方式不应影响生产操作。

4. 微环境装置的设置应符合下列要求:

      (1)当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对湿度有较高要求,且所控区域不大时,宜采用微环境装置;

      (2)微环境装置宜与生产工艺设备配套;

      (3)在不影响工艺操作的前提下,应具有可靠的密闭性,内外表面应平整、光滑;

      (4)围挡构造、材料的选用应方便生产操作。

5. 干表冷器的设置应符合下列要求:

      (1) 安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定;

      (2) 迎面风速、结构形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定;

      (3) 冷冻水进水温度,宜高于洁净室(区)内空气的露点温度;

      (4) 应设置排水设施。

6. 净化空调系统空气处理机组的选用和布置,应符合下列要求:

      (1)应有良好的气密性,漏风率不得大于1%;

      (2) 整体结构应有足够的强度和刚度,内表面应平整、光滑,外表面不应结露;

      (3) 布置应整齐,并应便于运行和维修;当多套空气处理机组为同一洁净室(区)服务时,宜选用相同规格的空气处理机组;

      (4) 送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时,中效(高中效)、高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;

      (5) 应设置排水装置。

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