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电子工业洁净厂房微振控制设计要求

发布时间:2022-06-02 19:49人气:

一、电子工业洁净厂房微振控制一般规定

1. 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行,应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等。

2. 设计有微振控制要求的洁净厂房时,应符合下列规定:

      (1) 总平面布置时,应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备、仪器的振动影响;

      (2)设有精密设备、仪器的洁净厂房,其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计;

      (3)对设有精密设备、仪器的洁净室(区)有振动影响的动力设备及其管道,应采取主动隔振措施;

      (4) 洁净室(区)内精密设备、仪器,经测试确认受到周围振动影响时,应采取被动隔振措施。

二、电子工业洁净厂房容许振动值

1. 微振动控制设计应根据精密仪器、设备的特性,采取综合隔振措施,并应满足容许振动值的要求。

2. 精密设备、仪器的容许振动值物理量的表述,应采用时间域或频率域的振动加速度、振动速度和振动位移等。

3. 精密仪器、设备的容许振动值,应由制造商提供。无法确定时,可按本规范附录C或根据其工作特性确定。

三、电子工业洁净厂房振动控制设计要求

1. 洁净厂房的微振动控制设计,应按下列阶段进行微振动测试分析:

      (1) 场地环境振动测试及分析;

      (2) 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析;

      (3) 精密设备、仪器安装地点环境振动测试及分析;

      (4) 微振动控制的最终测试及分析。

2. 有微振动控制要求的洁净室(区),其建筑结构的微振动控制设计,应符合下列规定:

      (1) 建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度;

      (2) 应设置独立的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔;

      (3) 主体结构应根据微振动控制的要求,适当加大梁、柱、墙、基础等截面尺寸。

3. 有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求.

      (1) 宜采用隔振台(座);

      (2) 应选用刚度适当的隔振器,

      (3) 通往洁净室(区)的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性连接等隔振措施。

4. 洁净室内精密设备、仪器的被动隔振措施的设计,应符合下列要求:

      (1) 隔振台(座)应具有足够的刚度;

      (2) 应采用低刚度隔振设施;

      (3) 隔振系统各向阻尼比不应小于0.15;

      (4) 隔振台(座)应采取倾斜校正措施;

      (5)隔振设施不应影响气流流型,

      (6) 当采用空气弹簧隔振器时,其供气系统应进行净化处理,并应达到洁净室空气洁净度等级的要求。


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