1 洁净室（区）工业管道的敷设应符合下列规定：
（1）洁净室（区）内工业管道不应穿越无关的房间。
（2）干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。
（3）易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。
（4）当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时，必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。
2 洁净室（区）工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB 50316的有关规定。
3 工业管道设计应符合下列规定：
（1）应按输送介质的物化性质，合理确定管内物料流速和管径。
（2）在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。
（3）应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。
（4）管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。
4 工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。
5 可燃气体管道、氧气管道的末端或最高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1皿,并应有防雨、防杂物侵入的措施。
6 气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对气体纯度的要求。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。
7 气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净度的要求。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。
8 洁净厂房内、生产类别为现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应 符合下列规定：
（1）当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上一层靠外墙处，并应与相邻房间采用耐火极限大于3.0h的隔墙分隔。
（2）应有良好的通风。
（3）泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定执行。
