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洁净室或洁净区性能测试和认证

发布时间:2022-05-23 19:18人气:

A.1 通 则

A.1.1 洁净室或洁净区应监测或定期进行性能测试,以认证该洁净室或洁净区始终符合本规范的要求。

A.1.2 洁净室或洁净区性能测试认证工作应由专门检测认证单位承担,并提交检测报告。

A.1.3 测试和认证工作之前,系统应达到稳定运行。测试和监测仪表应在标定证书有效使用期内。

A.2 洁净室或洁净区性能测试要求

A.2.1 洁净室或洁净区应进行下列三项测试:

      1 空气洁净度测试。生物洁净室应进行浮游菌、沉降菌测试。

      2 静压差测试。

      3 风速或风量测试。

A.2.2 洁净室或洁净区的三项测试应符合下列规定:

      1 空气洁净度测试应符合表A.2.2-1的规定。

表A.2.2-1 空气洁净度测试

空气洁净度等级

最长时间间隔(月)

测试方法

≤5

6

见本规范第A. 3. 5条

>5

12

       2 静压差、风速或风量测试应符合表A.2.2-2的规定。

表A.2.2-2静压差、风速或风量测试

测试项目

最长时间间隔(月)

测试方法

风速或风量

12

见本规范第A.3.1条

静压差

见本规范第A.3.2条

A.2.3 当洁净室或洁净区已对粒子浓度、风速或风量、静压差执行连续监测,并且其测试值均符合本规范要求,则认证的测试时间间隔可延长。具体间隔时间可与认证单位洽商,并应符合下列规定:

      1 空气洁净度等级认证可进行静态或动态检测,应洽商确定。

      2 风量测定采用风速计在风口或风管测定。

A.2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试要求应符合表A.2.4的规定。

表A.2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试

测试项目

空气洁净度等级

建议最长的时间间隔(月)

测试方法

已安装过滤器泄漏

所有洁净度等级

24

见本规范第A, 3. 3条

气流流型目测

自净时间

密闭性

见本规范第A. 3. 4条

温度

12

相对湿度

照度

24

噪声

12

 A.3 洁净室主要测试方法

A.3.1 风量或风速测试应符合下列规定:

      1 对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量,测点位于高效过滤器出风面约150mm〜300mm, 垂直气流处的截面作为采样截面,截面上测点间距不宜大于 0.6m,测点数不应少于4点,所有读数的算术平均值作为平均风速。

      2 对于非单向流洁净室,采用风口或风管法确定送风量,可按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243规定的方法执行。

A.3.2 静压差测试应符合下列规定:

      1 静压差的测定应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行,并应在所有的门关闭时检测。

      2 仪器宜采用各种微差压力计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。

A.3.3 已安装过滤器检漏测试应符合下列规定:

      1 检漏方法有光度计法和粒子计数器法。

      2 在过滤器上风侧应引入测试用气溶胶,在过滤器下风侧用 光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面 2cm〜3cm处,以5mm/s〜15mm/s的扫描速度移动,并应注意安装交接处的扫描。

A.3.4 密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室 (区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室 (区)。一般适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

A.3.5 洁净度的检测应符合下列规定:

      1 使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器,在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪器应有有效的标定合格证书。

      2 最少采样点数应按下式计算:

NL= A0.5 (A.3.5-1)

      式中:

      NL——最少采样点;

      A——洁净室或被控洁净区的面积(m2)。

      3 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作活动的高度,活动高度宜距地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1 min。

      4 每一采样点的每次采样量应至少为2L,采样量应按下式 计算:

Vs = 20/Cn.m×1000 (A.3.5-2)

      式中:

      Vs——每个采样点的每次采样量,以L表示;当环很大时, 可使用顺序采样法;

      Ce——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值 (pc/m3);

      20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测 到的粒子颗数(pc)。

      5 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。

A.3.6 对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定:

      1 在产品生产工艺有要求时,可按等级粒径范围之外的粒子浓度规定空气洁净度的水平。此类粒子的最大允许浓度和检测方法应由客户与建造商协商确定。

      2 当需评价小于0.1μm的粒子造成的污染危险时,应采用符合这类粒子具体特性的采样方法和装置;可独立应用U描述符说明超微粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。

      U描述符用“U(x,y)”表示,其中x为超微粒子的最大允许浓 度(pc/m3) ,y为以微米计的粒径。

      例如:粒径范围等于或大于0.01μm的最大允许超微粒子的浓度为 140000个/m3,应表示为“U(140000,0.01μm)”。

      3 当需评价大于5μm的粒子造成的污染危险时,应采用符 合这类粒子具体特性的采样装置和方法。可独立应用M描述符说明大于5μm的粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。

      M描述符用“M(a,b);c”表示,其中a为大粒子的最大允许浓度(pc/m3 ),b为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径(μm), c为规定的测量方法。

      例如:采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测,测量得到10μm〜20μm粒径范围的悬浮粒子浓度为1000个/m3,则用M描述符表示为"M(1000;10μm〜20μm);多级撞击采样器以显微镜测定粒径并计数”。

A.4 监测

A.4.1 按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其他参数的监测。

A.4.2 双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采样点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测量时间间隔、被计数粒子的粒径,以及粒子数的限值。

A.4.3 当监测结果超过规定的限值时,则应认定设施不符合要求,应进行修正;修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限值内,可继续监测。

A.5 认证

A.5.1 按双方协议书的规定及第A.2节的要求,按第A.3节的方法进行测试,当测试结果在规定的限值之内时,可认定该洁净室符合规定要求。当测试结果超过规定的限值,可认定该洁净室不 符合要求,应进行改进,在完成改进工作之后,应进行再认证。

A.5.2 记录数据评价应符合下列规定:

      1 在空气洁净度测试中,当测点在1点〜10点时,应计算平均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出95%置信上限值。

      2 当采样点超过10点时,应计算算术平均值,并按算术平均值进行空气洁净度等级的评价。

A.5.3 每次性能测试或再认证测试应做记录,并应提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容:

      1 测试机构的名称、地址。

      2 测试日期和测试者签名。

      3 执行标准的编号及标准出版日期。

      4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。

      5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差。

      6 测量用的仪器编号和标定证书,测试方法细则及测试中的特殊情况。

      7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。

      8 对异常测试值进行说明及数据处理。

      9 注明上次的测试日期。

      10 设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。

A.5.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。

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