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洁净室气体系统管材及附件设计要求

发布时间:2022-06-04 09:30人气:

洁净室气体系统管材及附件设计要求如下

一、洁净室气体系统设计一般规定

1. 洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MPa洁净的和高纯的永久气体、特种气体、医用气体、可燃气体、惰性气体输送管道以及真空吸引管道等的施工与验收。

二、洁净室气体系统管材及附件

1. 气体系统管道材质及附件,应按设计要求选配,如设计未作明确要求,选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应,并应符合下列规定:

      (1) 应使用无缝管材。

      (2) 管材内表面吸附、解吸气体的作用小。

      (3) 管材内表面应光滑、耐磨损。

      (4) 应具有良好的抗腐蚀性能。

      (5) 管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。

      (6) 负压管道不宜采用普通碳钢管。

2. 所用管材应放在室内保管,不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直、圆滑。

3. 成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效、无破损。

4. 氧气阀门必须采用专用产品,其密封圈应采用有色金属、聚四氟乙烯等材质。填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯。

5. 采用铜材的高纯气体管路,可用不锈钢材质的附件,但在不锈钢材质的管路中,不应采用铜质的附件。


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