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洁净室纯化水与高纯水设计要求

发布时间:2022-06-04 10:37人气:

洁净室纯化水与高纯水设计要求如下:

1. 工艺用纯化水与高纯水处理设备的安装应符合下列规定:

      (1) 纯化水处理设备的安装除应符合设计要求外,还应符合现行国家标准《电子级水》GB 11446.1等有关规定。

      (2) 纯化水处理流程工艺布置与安装方式应合理、安全、方便、美观。必须校核安装承重安全。

      (3) 纯化水水站的地面、沟道和设备必须作防腐处理,应有急救处理药箱的固定放置地点。

      (4) 沙滤器、活性炭过滤器和离子交换器的安装应保持垂直。膜过滤器、反渗透系统、超滤系统和电再生离子系统基架应安置水平。

      (5) 集水滤帽固定应牢固,无污损。

      (6) 滤器中所有介质应按量投入、铺平、冲洗,待所有介质全部加完后反洗,反洗时间对沙层应为1h,对活性炭应为2h。并应再正洗30min。

      (7) 离子交换器应按设计要求加装树脂。

      (8) 反渗透压力容器的交换膜可用甘油作润滑剂,但不得使用硅脂。

      (9) 膜过滤设备安装膜之前应彻底清洗设备管路,不得有颗粒物进入膜组件。

2. 纯水和高纯水管道、管件、阀门安装前应清除油污和进行脱脂处理。

3. 管道、管件的预制、装配工作应在洁净环境内进行,操作人员应穿洁净工作服、戴手套上岗。

4. 管件安装前后或停顿工作时,应充高纯惰性气体保护,并应以洁净塑料袋封口,一旦发现封袋破损应及时检查处理。

5. 纯化水和高纯水(含注射用水)管道以及纯蒸汽管道采用不锈钢(SUS)管时,其管道加工、安装应符合下列规定:

      (1) 不锈钢管在堆放、加工过程中,不应直接与碳钢支架管卡接触,应以塑料或橡胶垫片隔离。

      (2) 管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式。

      (3) 焊接应采用自动焊,管内灌充纯氩气(纯度99.999%)直至焊接、吹扫完毕。管壁冷却后再用四氯化碳脱脂,然后封闭管口。施焊方向与充气气流方向一致。

      (4) 管道部件的点固焊可采用手工钨极氩弧焊,充氩应直至管壁冷却。

      (5) 设计无要求时,法兰垫片宜采用非金属的聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯板。法兰紧固螺栓应采用不锈钢材料。

      (6) 焊接人员应有相应资质,施焊前应按施工要求做出样品,并应在检验合格后上岗。

      (7) 管道系统安装应具备无不流动死水段的特性,系统安装后应有不小于0.5%的坡度。系统管道和所有设备的安装应具有残余水放空能力。

      (8) 管道在焊接、安装结束后,应将管内焊缝氧化物冲洗干净,再进行脱脂和酸化钝化,并记录在案。

6. 纯水、高纯水管道当采用偏聚二氟乙烯(PVDF)管时,应符合本规范第6.3.6条的相关要求;当采用硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管时,其管道加工、安装应符合下列规定:

      (1) 管道加工、安装时应在室温5℃以上、相对湿度85%以下的清洁环境中进行。

      (2) 管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接。

      (3) 管道或管件的承口不应歪斜和厚度不匀。管端不应有裂缝。管道的承插间隙不应大于0.3mm。

      (4) 管道在粘接前,应对粘接面进行磨砂和清洁处理,不得沾污。应远离火源。承口上涂胶粘剂,应不少于2次。应保证插入承口的深度,插入深度达到规定后应保持20min。

      (5) 活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接。

      (6) 埋地敷设时,应对垫层进行处理或设简易管沟;安装在地面上时,应设防护罩。

      (7) 管道采用焊接或平焊法兰连接时,应采用自动或半自动热焊机。管道法兰应根据不同厚度加工坡口。焊缝应填满,并高于管子表面2mm~3mm,宽度均匀,不应有焦黄、断裂、虚焊等缺陷。焊缝强度不应低于母材的60%,焊缝材质应与母材相同。不同管壁厚度的管道、附件不得对焊。

      (8) PVDF管道焊接时应为均匀的双重焊道,焊道宽度由壁厚确定,并不应小于2mm。

      (9) 管道支、吊架不应设在管子接头、焊缝处。所有阀门应以支架支承。支、吊架与管子之间应填入软质绝缘物分隔。

      (10) 穿越围护结构时,应设套管,套管内不应有接头。

      (11) 直管段长度超过20m时,应安装伸缩管。

7. 纯水、高纯水管道系统压力试验合格后,应在系统运转前进行自来水冲洗,冲洗速度宜大于2m/s,直至冲洗前后水质相同。冲洗后应再用10%双氧水进行后级循环消毒4h以上,然后用反渗透处理的水冲洗直至前后水质符合设计要求。


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