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洁净室化学物料供应系统设计要求

发布时间:2022-06-04 10:54人气:

一、洁净室化学物料供应系统设计一般规定

      本章适用于洁净室中使用的具有爆炸性、易燃性、剧毒性和腐蚀性的酸、碱、有机溶剂等化学物料储存供应设备、输送系统管路的安装施工及验收。

二、洁净室化学物料供应系统储存设施设计要求

1. 储存间的机械排风出入口处应通畅无障碍,避免气体积聚。

2. 容器的搬运除应符合本规范第11章的相关规定外,严禁倒置、撞击。

3. 储存设施与空间在施工完成后应按规定在明显位置建立醒目标志。

4. 储存和配间设置的隔堤,堤内容积应大于最大储罐的容积,高度不低于500mm,堤体必须密实不漏,管道穿堤处应采用不燃材料密封。

三、洁净室化学物料供应系统管道与部件设计要求

1. 化学物料的输送管道及部件的材料,应符合设计要求,当设计未明确要求时,有机溶剂的管道宜用低碳不锈钢管,酸、碱类管道宜用聚四氟乙烯(PFA)管,并应要求设计方确认。

2. 阀门材料应与管道材质一致。阀管间垫片宜采用氟橡胶或聚四氟乙烯。

3. 在非金属管道中输送有腐蚀性、易燃性的化学物料时,必须采用保护套管,保护套管可用透明的聚氯乙烯(PVC)管;输送易燃性的化学物料时,可用熔点高于1100℃的金属套管。

4. 化学物料输送管道安装完成后,应关断通往容器阀门、卸下管中过滤器与流量计等附件,然后采用与洁净室洁净度匹配的干燥压缩空气、纯氮吹净,再用纯净水清洗。

四、 洁净室化学物料供应系统分项验收要求

1. 化学物料供应系统分项验收除应符合本规范外,还应遵守现行国家标准《常用危险化学品的分类及标志》GB13690和《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定。

2. 化学物料供应系统的分项验收应包括以下主控项目:

      (1) 容器应经过严格的清洁,表面无伤痕,零件安装应牢固,并应使阀门操作方便、仪表读数容易。

      检验方法:观察检查。

      检验数量:全部。

      (2) 容器垂直度的最大偏差,应不大于0.2%。

      检验方法:观察检查、挂5m线,直尺量。

      检验数量:全部。

      (3) 系统管道吹净时间宜为1h~2h,直至排出气体洁净度符合设计要求。

      检验方法:观察检查,粒子计数器测定。

      检验数量:全部。

      (4) 在1.5倍工作压力的检验压力下经30 min试验应无泄漏。

      检验方法:检查试验记录。

      检验数量:全部。


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