一、洁净室面层和涂层要求
1. 有防静电要求时,围护结构、设备等面层和涂层不得使用高分子绝缘材料。
2. 除地面以外的围护结构面层(面板)应选用表面电阻在1x105Ω~1x1010Ω的静电耗散型材料制作。
3. 当面层为非静电耗散型材料时,其表面必须涂覆静电耗散型材料的涂层。
4. 金属门窗除对其表面有防静电要求外,还应接地。
二、洁净室系统部件要求
1. 风系统的风口和风管应采用导电材料制作,并应接地。
2. 各种系统中使用绝缘材料部件时,应在该部件表面安装跨线导线或在该部位安装接地金属网。
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1. 有防静电要求时,围护结构、设备等面层和涂层不得使用高分子绝缘材料。
2. 除地面以外的围护结构面层(面板)应选用表面电阻在1x105Ω~1x1010Ω的静电耗散型材料制作。
3. 当面层为非静电耗散型材料时,其表面必须涂覆静电耗散型材料的涂层。
4. 金属门窗除对其表面有防静电要求外,还应接地。
1. 风系统的风口和风管应采用导电材料制作,并应接地。
2. 各种系统中使用绝缘材料部件时,应在该部件表面安装跨线导线或在该部位安装接地金属网。
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