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洁净室检验项目及方法

发布时间:2022-06-05 14:15人气:

洁净室检验项目及方法如下:

1. 洁净室在高效过滤器现场检漏后的必测项目,应符合表1的要求,也可由该表选择选测项目。

表1 洁净室的检验项目

序号

项目

单向流

非单向流

执行内容

1~4级

5级

6~9级

1

风口送风量(必要时系统总送风量)

不测

必测

附录E.1

2

房间或系统新风量

必测

附录E.1

3

房间排风量

负压洁净室必测

附录E.1

4

室内工作区(或规定高度)截面风速

必测

不测

附录E.1

5

工作区(或规定高度)截面风速不均匀度

必测

必要时测

必要时测

附录E.3

6

送风口或特定边界的风速

不测

必要时测

附录E.1

7

静压差

必测

附录E.2

8

开门后门内0.6m处洁净度

必测

不测

附录E.2

9

洞口风速

必要时测

附录E.2

10

房间甲醛浓度

必测

 

附录E.13

11

房间氨浓度

必要时测

附录E.14

12

房间臭氧浓度

必要时测

附录E.14

13

房间二氧化碳浓度

必要时测

附录E.16

14

送风高效过滤器扫描检漏

必测

附录D.2、E3

15

排风高效过滤器扫描检漏

生物洁净室必测

附录D.2、E3

16

空气洁净度级别

必测

附录E.4

17

表面洁净度级别

必要时测

不测

由委托方和检验

方协商选定标准

18

温度

必测

附录E.5

续表1

序号

项目

单向流

非单向流

执行内容

1~4级

5级

6~9级

19

相对湿度

必测

附录E.5

20

温湿度波动范围

必要时测

附录E.5.2

21

区域温度差与区域湿度差

必要时测

附录E.5.2

22

噪声

必测

附录E.6

23

照度

必测

附录E.7

24

围护结构严密性

必要时测

附录G.2~G.4

25

微振

必要时测

附录E.10

26

表面导静电

必要时测

附录E.9

27

气流流型

不测

必要时测

附录E.12.1

28

定向流

不测

必要时测

附录E.12.2

29

流线平行性

必要时测

不测

附录E.12.3

30

自净时间

必要时测

附录E.11

31

分子态污染物

必要时测

必要时测

附录H.2

32

浮游菌或沉降菌

有微生物浓度参数要求的洁净室必测

附录E.8.2、E.8.3

33

表面染菌密度

必要时测

附录E.8.4

34

生物学评价

必要时测

附录F.1~F.3

      注:“必测项目”是指不论何种洁净室及相关受控环境在静态条件下验收、定检验时必须测定的项目,不得少测。“必要时测项目”是指有检查该项性能要求时选测的项目。动态监测时可在以上两项中选择测定项目。

2. 检验之前,应对所测环境作彻底清洁,但不得使用一般吸尘机吸尘。擦拭人员应穿洁净工作服,清洗剂可根据场合选用纯化水、有机溶剂、中性洗涤剂或自来水。

3. 检验项目首先宜测风速、风量、静压,然后检漏,再测洁净度。在其他必测项目测完并完成表面消毒后测定细菌浓度,测定细菌浓度前不得进行空气消毒。最后测定选测项目。

4. 表1中的检验项目应按所列附录的方法进行检验。当有明显理由不便执行本规范的检验方法时,可经委托方(用户)和检验方方协商用其他方法,并载入协议。

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