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洁净室气流检测方法和技术要求

发布时间:2022-06-06 13:39人气:

一、洁净室气流检测方法

1. 气流流型的检测应按以下步骤进行:

      (1) 布置测点:

      1)垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个;水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个,以及距送、回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面,所有面上的测点间距均为0.2m~1m;

      2)乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个,剖面上的测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测点间距为0.5m~1m。两个风口之间的中线上应有测点。

      (2) 测定方法:用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并可用量角器量出角度,发烟源可用超声波雾化(0.5μm~50μm水雾)的去离子(DI)水、喷射方法生成的乙醇或正二醇、固态二氧化碳(干冰)等,在高强度光源下示踪。在确保对人和物无损害时可以四氯化钛(TiCl4)作示踪粒子。

2. 气流流向的检测方法如下:

      (1) 当要检测一个区域的定向流流向时,应在该区域头尾之间,分段立杆,杆上不同高度挂有单丝线,或者发烟,按照测定气流流型同样的方法,观测定向流流向并记录。也可分段接力发烟,目测绘制或摄影、摄像。

      (2) 当要测一个洁净室的定向流流向时,应在该室门口至排(回)风口之间设立测杆,方法同上。

3. 流线平行性应按以下方法检测:

      (1) 用单丝线观测送风平面的气流流向,每台过滤器对应一个观察点。

      (2) 用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度,避免人的干扰。

二、洁净室气流技术要求

1. 当对室内单向流品质作细致确认时,可测流线平行性。流线平行性应按上面步骤进行检验,在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于15°。

2. 当对室内气流流型作细致确认时,可测气流流型。室内气流流型应按上面步骤进行检验,应绘出流型图并给出分析意见。

3. 当对导致交叉污染的因素作细致确认时,可测气流的定向性。定向流应按上面步骤进行检验,应绘出流动方向并给出分析意见。




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