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洁净室气密性要求

发布时间:2022-06-06 16:41人气:

洁净室气密性要求如下:

      当对洁净室的严密性有特殊要求时,可测其围护结构严密性。围护结构严密性按《洁净室气密性检测方法》进行检验。检验结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,可在以下两表的任何一种评定方法中任选一种方法,两表中最大测试压力设定为500Pa。

表1 按压力半衰期区分气密性程度

气密性程度

压力半衰期T(测试压力衰减到其一半的时间)(min)

1

≥30

2

≥20

3

≥10

4

≥5

表2 按漏泄率区分气密性程度

气密性程度

前5min内每小时漏泄率α(h-1

1

2

≤ 2.5×10-3

≤ 10-2

3

≤ 5×10-2

4

≤ 10-1

      表2中,  α = Q/V           (1)

      式中:V——被检洁净室净容积(一般情况下该容积可以用室体积代替)(m3);

                Q——检验压力下前5min内仪表读出的每小时漏泄量(m3/h)。

      当用压缩空气补偿时,设检验时温度不变,流量计检测的Q应考虑压力修正,成为Q1

 公式.jpg

      式中:Q1——修正后用于计算α的漏泄流量;

                 P——室内大气压力;

                 P1——压缩空气实际压力,为表压与大气压之和。


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