发布日期：2022-05-31 21:44 浏览次数：
1. 洁净室（区）内应采用具有防尘、防污染的生产设备和辅助生产设备，并应符合下列要求：
（1）表面应光洁、易清洁、不积尘、不挥发化学物质；
（2）设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油、冷却剂等的泄漏；
（3）对生产中发尘、排热量大或排出有毒、可燃气体的设备，应采取防扩散措施，
（4）设备的金属外壳应设置接地设施。
2. 当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室（区）时，宜采取密封隔断措施。
3. 洁净室（区）内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超过洁净室噪声容许值时，应采取隔声措施。
4. 洁净室（区）应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施。
5. 洁净室（区）内，电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送，宜采用专用容器。用于存放和传送的专用容器，应符合下列规定：
（1）制作材料应光洁、不吸湿、不锈蚀、不散发污染物、防静电，并在空气中不应被氧化；
（2）应密封性能好；
（3）当存放物有严格的洁净度要求时，宜充填高纯度或干燥氮气；
（4）构造、外形应满足生产工艺要求，并应方便操作和运送。
6. 洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：
（1）使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统；
（2）对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下限的20％时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分；
（3）传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。
