洁净室面层、涂层和系统部件要求

一、洁净室面层和涂层要求

1. 有防静电要求时，围护结构、设备等面层和涂层不得使用高分子绝缘材料。

2. 除地面以外的围护结构面层（面板）应选用表面电阻在1x105Ω～1x1010Ω的静电耗散型材料制作。

3. 当面层为非静电耗散型材料时，其表面必须涂覆静电耗散型材料的涂层。

4. 金属门窗除对其表面有防静电要求外，还应接地。

二、洁净室系统部件要求

1. 风系统的风口和风管应采用导电材料制作，并应接地。

2. 各种系统中使用绝缘材料部件时，应在该部件表面安装跨线导线或在该部位安装接地金属网。