洁净室微振和表面导静电性能检测方法和要求

一、洁净室微振检测方法和要求

1. 应用能满足检测精度要求的振动分析计测定。

2. 测点应选在室中心地面和认为有必要测定振动的位置的地面上，以及各壁板表面的中心处。

3. 应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下纵轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值。

4. 当对室内振动影响作细致确认时，可测室内微振。室内微振应按附录E检验，纵、横和垂直三个方向的振幅均应符合设计或相关标准的要求。

二、洁净室表面导静电性能检测方法和要求

1. 地面、墙面和工作台面等表面导静电性能的检测环境温度应在15℃～35℃之间，相对湿度在45％～70％。

2. 地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应采用符合精度要求的高阻计检测。

3. 在表面上人活动区域选定的一组2点间或几组2点间检测，可选用图E.9.3的测试装置。

4. 当对室内表面导静电性能作细致确认时，可测表面导静电性能。表面导静电性能应按附录E检验，表面电阻值和漏泄电阻值应符合被测对象的静电控制标准的要求。没有控制标准时，表面电阻值应为1.0×10⁵Ω～1.0×10¹⁰Ω，其中一级标准应为1.0×10⁵Ω～1.0×10⁷Ω，漏泄电阻值应为1.0×10⁵Ω～1.0×10⁸Ω。