洁净室配电系统线路设计要求:洁净室配电系统施工应按现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB50303的要求，对所...
洁净室化学物料供应系统设计要求:本章适用于洁净室中使用的具有爆炸性、易燃性、剧毒性和腐蚀性的酸、碱、有机溶剂等化学物料储...
洁净室水系统分项验收要求:1 水系统分项验收应按管道系统、检验批或分项工程分别进行。 2 分项验收中需特别试验时，应由...
洁净室纯化水与高纯水设计要求：（1） 纯化水处理设备的安装除应符合设计要求外，还应符合现行国家标准《电子级水》GB 11...
洁净室给水排水系统设计要求：1. 污染区域特别是微生物污染区域内的供水管，不得与用水设备直接相连，必须有空气隔断，配水口...
洁净室气体系统分项验收要求:（1） 各种成品应有产品合格证，材料应有质量证明文件。 （2） 实际使用的管道材料和规格应...
洁净室气体管道系统吹除和供给装置要求:1. 气体管道各项试验合格后，应使用与洁净室洁净度级别匹配的洁净无油压缩空气或高纯...
洁净室气体管道系统强度试验要求:1. 可燃气体和高纯气体等特殊气体阀门安装前应逐个进行强度和严密性试验。管路系统安装完毕...
洁净室气体管道系统安装要求:管道安装前应进行以下准备工作： （1） 配管下料时应采用“等离子切割”或专用切割锯、割管刀...
洁净室气体系统管材及附件设计要求:一、洁净室气体系统设计一般规定 1. 洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MP...
