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洁净室空调通风参数和洁净度等级的确定

发布时间:2022-05-13 17:05人气:

1.由于生产工艺的不同,对空调通风参数和洁净度等级的要求也不同,因此,设计人员首先应该了解各生产工艺的特点。

2.电子工厂生产工艺的特点:分类众多,有集成电路生产(分为光掩膜、前道工序、后道工序),平面显示器生产(分为LCD、PDP、TFT、VFD、显像管),硅材料生产(单晶硅,多晶硅),光纤生产,制卡业,表面贴装(SMT),分离器件生产(功率一、二、三级管,电容,电阻),整机组装生产(机顶盒,数字投影仪生产,电子数码相机生产),自控元器件生产(传感器,执行机构)等等。

      由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的要求也不同,0.1μm~5μm。对温湿度控制的要求,相对较高如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃,精度±0.1℃~±1℃;相对湿度基数为40%,精度±2%~±5%。正压值要求的梯度级别,随着洁净的变化而从高到低变化差值为5~10Pa。

      以下举例说明:某洁净厂房面积168m2,洁净等级6级,设计温度22℃,相对湿度50%,新风量5070m3/h,采用二次回风,若室内设计参数改为25℃,相对湿度50%,空调箱冷盘管消耗冷量可以减少15%。计算过程如下:

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      由于我国电子行业与国际先进水平差距较大,随着改革开放的力度不断加大,先进技术不断的进入到我国。因此,生产工艺技术的更新,真可谓日新月异,洁净工程设计必须要适应这么快的变化节奏。

      冷负荷比其他行业的洁净室大很多。单位冷负荷达400w/m2~500 w/m2很常见。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷成为电子行业特点。

      生产工艺过程产生的有毒有害气体种类繁多,且量也大,所以排风量也大,新风量也大。新排风的节能措施也是特点之一,排放前要作处理,符合环保要求。

      生产工艺有抗静电,抗微振的要求。

      大宗气体和特种气体种类多,纯度和洁净度要求高。

3.生物洁净室包括制药工业、食品工业、化妆品工业、医院(手术室、烧伤病房、白血病病房等)、实验室等。

      生物洁净室的特点是,控制微生物进入生物洁净室内,一般有过滤除菌和消毒灭菌两种方法。

      由于高效过滤器的阻力大,价格贵,对于要求不高的一般生物洁净室,用这种过滤器是不合适的。从细菌等价直径的观点来看,使用亚高效过滤器或者过滤效率接近高效的中效过滤器也是可行的。对于病毒,它虽然比细菌小的多,但它无完整的酶系统,和细菌比,不能单独进行物质代谢,不能在无生命的培养基上生长,而必须寄生在某种活细胞内才能繁殖。因此它在空气中也是有载体的,可以认为它是以群体形式存在,所以担心高效过滤器过滤不了病毒是不必要的。所以对于生物洁净室,采用什么样的过滤器和其推广应用是很重要的。

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