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洁净厂房高纯气体输配金属管道安装连接要求

发布时间:2022-06-15 11:39人气:

      洁净厂房高纯气体输配金属管道安装连接要求如下:

      (1)用于输送高纯气体的金属管道的材质主要有:

      1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净度气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

      2)铜管。在半导体企业中,个别生产工艺如砷化镓的操作,为了防止产生器件电阻,不允许使用铜质管路及其附件,只能使用不锈钢材料。 

      3)热镀锌无缝钢管。有资料介绍,洁净室的管道不得采用镀锌钢管。

      (2)连接方式

      1)焊接

      高纯、高洁净度气体管道,原则上采用焊接,但防止直接对焊,应采用套管接头,如图1。

图1.png

图1 管套的正确安装

      不锈钢管的焊接:采用氩弧焊,同时管内通入同等纯度的氩气,防止焊接部位氧化。

      铜管的焊接:采用40%的银焊条,采用氮气保护焊,管内通入与工艺气体同等纯度的氮气。但要注意,一旦氮气中断或氮气纯度下降,会在焊口附近生成铜的氧化物,产生浸润表面的可能性。所以,当铜管焊接完毕后,要用浸渍丙酮的纱布来回擦拭管内,消除焊接处可能产生的氧化物。

      镀锌钢管的焊接:镀锌钢管的焊接会破坏镀锌层,镀锌后如实施补镀锌,实际操作艰难,同时极易加速该处的腐蚀,因此洁净室内管道不得使用镀锌钢管。

      2)螺纹连接

      螺纹连接的气密性不如焊接的好,不适用于高纯、高洁净度气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险,而且,内外螺纹旋紧时,金属间的摩擦,会产生金属粉尘粒子,污染气体。如确实必要,应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时,在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊锡,提高密封效果、尽可能减少金属粉尘。

      3)法兰连接

      螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氟乙烯,为确保密封效果,在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

      (3) 管路附件的使用

      1) 管路附件的材质的选用应与管材的选用原则一致。

      2)在采用铜材的管路系统中,可以使用不锈钢材质的管道的附件;反之,不锈钢材质的管路系统中,不容许使用铜质材料的管道附件。




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