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GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分:检测方法

发布时间:2022-05-08 19:50人气:

      警告——GB/T 25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T 25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前,GB/T 25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生 措施,并遵守各种强制性规定。

1 范围

      GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法,以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单 向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。.某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型,为此,本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意,也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。

      本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。

2 规范性引用文件

      下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

      GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级(ISO 14644-1/999, IDT)

      GB/T 25915.2-2010 洁净室及相关受控环境 第2部分:证明持续符合GB/T 25915.1的检测 与监测技术要求(ISO 14644-2:2000, IDT)

      GB/T 25915.4—2010 洁净室及相关受控环境 第4部分:设计、建造、启动(ISO 14644-4:2001 IDT)

      ISO 7726:1998 热环境人体功效学物理量测量仪器

3 术语和定义

      下列术语和定义适用于本文件。

3.1 一般术语

3.1.1

      洁净室 cleanroom

      空气悬浮粒子浓度受控的房间,其建造和使用方式使房间内进入的、产生的、滞留的粒子最少,房间内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。

      [GB/T 25915.1—2010,2.1.1]

3.1.2

      洁净区 clean zone

      空气悬浮粒子浓度受控的专用空间,其建造和使用方式使区内进入的、产生的、滞留的粒子最少,区内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。

      注:洁净区可以是开放的或封闭的;在也可不在洁净室内。

      [GB/T 25915.1—2010,2.1.2]

3.1.3

      设施 installation

      连同所有建筑结构、空气处理系统以及服务、公用系统的洁净室,或一个或数个这样的洁净区。

      注:改写 GB/T 25915.1—2010,定义 2.1.3。

3.1.4

      隔离装置 separative device

      采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。

      注:某些行业专用隔离装置有:洁净风罩、隔离箱 ,手套箱、隔离器、微环境。

3.2 空气悬浮粒子测

3.2.1

      气溶胶发生器 aerosol generator

      能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的(例如0.05 μm〜2 μm) 微粒物质的器具。

3.2.2

      空气悬浮粒子 airborne particle

      悬浮在空气中、活或非活、固体或液体、粒径(对GB/T 25915的本部分而言)1 nm〜100 μm的粒子。

      注:用于洁净度等级的,参见GB/T 25915.1—2010,2.2.1。

3.2.3

      数量中值粒径 count median particle diameter

      CMD

      按粒径排列粒子时,处于中位数的粒子的粒径值。

      注:占一半数量的粒子其粒径小于数量中值粒径,占另一半数量的粒子其粒径大于该数量中值粒径。

3.2.4

      大粒子 macroparticle

      当量直径大于5 μm的粒子。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.6]

3.2.5

      M 描述符 M descriptor

      每立方米空气中大粒子的实测或规定浓度。M描述符中的当量粒径与测量方法有关。

      注:M描述符可作为采样点平均浓度上限(或置信上限,该值随洁净室或洁净区性能测定采样点数量而定)。不能 用M描述符规定悬浮粒子洁净度等级,但可将其单独或随洁净度等级引述。

      [GB/T 25915.1—2010,2.3.2]

3.2.6

      质量中值粒径 mass median particle diameter

      MMD

      按质量排列粒子时,处于中位数的粒子的粒径值。

      注:占全部粒子质量一半的粒子其粒径小于质量中值粒径,占另一半质量的粒子其粒径大于该中值粒径。

3.2.7

      粒子浓度 particle concentration

     单位体积空气中粒子的个数。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.3]

3.2.8

      粒径 particle size

      给定的粒径测量仪器所显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。

      注:离散粒子计数器给出的是当量光学粒径。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.2]

3.2.9

      粒径分布 particle size distribution

      粒子按粒径累计得出的浓度。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.4]

3.2.10

      测试气溶胶 test aerosol

      具有已知并受控的粒径分布及浓度的固体和(或)液体粒子的气态悬浮物。

3.2.11

      U 描述符 U descriptor

      包括超微粒子在内的、每立方米空气粒子的实测或规定浓度。

      注:U描述符可作为采样点平均浓度上限(或置信上限,该值随洁净室或洁净区性能测定采样点数量而定)。不能 用U描述符确定空气洁净度等级,但可将其单独或随洁净度等级引述。

      [GB/T 25915.1—2010,2.3,1]

3.3.12

      超微粒子 ultrafine particle

      当量直径小于0.1 μm的粒子。

      [GB/T 25915.1—2010,2.2.5]

3.3 空气过滤器和过滤系统

3.4.1

      气溶胶发尘 aerosol challenge

      对过滤器和已装过滤系统施用检测气溶胶的过程。

3.3.2

      渗漏限值 designated leak

      需方与供方商定的、可用离散粒子计数器或气溶胶光度计扫描测出的设施渗漏最大允许透过率。

3.3.3

      稀释装置 dilution system

      按已知容积比将气溶胶与无粒子稀释空气混合,以降低气溶胶浓度的装置。

3.3.4

      过滤系统 filter system

      由过滤器、安装架及其他支撑装置或箱体组成的系统。

3.3.5

      末端过滤器 final filter

      空气进入洁净室之前最末端位置上的过滤器。

 

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