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电子工业洁净厂房空气净化和空调通风设计一般规定

发布时间:2022-06-01 16:25人气:

电子工业洁净厂房空气净化和空调通风设计一般规定如下:

1. 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。

2. 气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。

3. 有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置:

      (1)运行班次或使用时间不同;

      (2)生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响;

      (3)对温、湿度控制要求差别大;

      (4)洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊;

      (5)净化空调系统与一般空调系统,

      (6)系统风量过大的净化空调系统。

4. 洁净室(区)内的温度、相对湿度应符合《GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范》第3.2.3条的规定。

5. 洁净室(区)内的新鲜空气量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

6. 洁净室(区)与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定:

      (1)各洁净室(区)与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定;

      (2)不同等级的洁净室(区)之间的静压差应大于等于5Pa;

      (3)洁净室(区)与非洁净室(区)之间的静压差应大于5Pa;

      (4)洁净室(区)与室外的静压差应大于10Pa。

7. 洁净室(区)维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙法或换气次数法确定。

8. 送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

9. 非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理。

10. 洁净室(区)的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定。洁净室(区)宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1~5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统,洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

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