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电子工业洁净厂房气流流型和送风量设计要求

发布时间:2022-06-01 16:46人气:

电子工业洁净厂房气流流型和送风量设计要求

1. 气流流型的设计,应符合下列要求:

      (1)气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1~5级时,应采用单向流或混合流;空气洁净度等级为6~9级时,宜采用非单向流;

      (2)洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健康的要求。

2. 洁净室的送风量,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

3. 洁净室(区)所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和气流流型,宜按表1计算。

表1 洁净送风量(静态)和气流流型

空气洁净度等级

气流流型

平均风速(m/s)

换气次数(h-1

1~5

单向流或混合流

0.20~0.45

-

6

非单向流

-

50~60

7

非单向流

-

15~25

8~9

非单向流

-

10~15

      注:(1)换气次数适用于层高小于40m的洁净室。

          (2)室内人员少、热源少时,宜采用下限值。

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