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电子工业洁净厂房干燥压缩空气系统设计要求

发布时间:2022-06-02 15:20人气:

电子工业洁净厂房干燥压缩空气系统设计要求如下:

1. 洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:

      (1) 供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;

      (2) 供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;

      (3) 供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;

      (4) 应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机;

      (5)含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。

2. 干燥压缩空气管道内输送露点低于-76℃时,应采用内壁电抛光低碳不锈钢管或内壁电抛光不锈钢管;露点低于-40℃时,宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

3. 管道连接应符合下列规定:

      (1) 宜采用焊接,不锈钢管应采用氩弧焊;

      (2) 含水量露点严于-40℃时,用于管道连接的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫;

      (3) 当采用软管连接时,宜采用金属软管。


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