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电子工业洁净厂房特种气体系统设计要求

发布时间:2022-06-02 15:25人气:

电子工业洁净厂房特种气体系统设计要求如下:

1. 特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应,在电子工厂内应设置储存、分配系统。

2. 洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔墙与洁净室(区)分隔,隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。

3. 洁净室(区)内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置,应符合下列规定:

      (1)特种气体钢(含硅烷或硅烷混合物)应设置在具有连续机械排风的特气柜中;

      (2) 排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源;

      (3) 一个特气分配系统供多台生产设备使用时,应设置多路阀门箱;

      (4) 可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合《GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范》第10.1和10.2节的有关规定。

4. 特种气体分配系统应设置吹扫盘,并应符合下列规定:

      (1) 应设置应急切断装置;

      (2) 应设置过流量控制装置,

      (3) 应设置手动隔离阀;

      (4) 吹扫气源宜采用常用气体系统;

      (5) 不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。

5. 硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定:

      (1) 储存区应至少三面敞开,气瓶应固定在钢制框架上;

      (2) 气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m;

      (3) 储存区顶棚的高度应大于3.5m。

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