一、电子工业洁净厂房化学品供应设计一般要求
1. 洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产品生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。
2. 洁净厂房内使用的各类化学品应按照各自的物理化学特性分类和储存，并应符合现行国家标准《常用危险化学品的分类及标志》GB 13690的有关规定。
3. 在洁净室（区）内使用危险化学品的生产设备或空间，应采取相应的安全保护措施。
二、电子工业洁净厂房化学品供应管材和阀门设计要求
1. 化学品供应系统管道材质的选用，应按所输送化学品的物理化学性质确定，并应选择化学稳定性能良好和相容性好的材料。
2. 输送腐蚀性化学品的管道，可直接采用非金属管材，但应设置保护套管。
3. 化学品输送管路系统，对多台生产设备供应化学品时，应设置分配阀箱。
4. 输送有机溶剂的管道材质，宜采用低碳不锈钢管；输送酸、碱类管道材质，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系统的垫片，宜采用氟橡胶或聚四氟乙烯。
5. 用于化学品管路的阀门材质应与管道材质一致。
