您好!欢迎光临深圳肯为尔官方网站,我们竭诚为您服务!
咨询热线133 3260 1207

电子工业洁净厂房防静电接地设计要求

发布时间:2022-06-02 17:53人气:

一、防静电与接地设计一般要求

1. 洁净厂房应根据生产工艺要求设置防静电环境。防静电环境设计应满足抑制或减少静电的产生,以及将已产生的静电迅速、安全、有效地排除的要求。

2. 防静电环境设计应按电子产品或生产工序(设备)进行分级。防静电环境内静电电位绝对值应小于电子产品的静电电位安全值。防静电环境设计应分为三级,防静电环境设计分级适用场所应符合表1的要求。

表1 防静电环境设计分级适用场所

防静电级别

静电电位绝对值V

适用场所

一级

≤100

1 半导体器件、集成电路、平板显示器制造和测试的场所

2 电子产品生产过程中操作Ⅰ级静电敏感器件制造和测试的场所

二级

≤200

1 静电敏感精密电子仪器的测试和维修场所

2 静电感电子器件制造和测试的场所

三级

≤1000

除一级、二级场所以外的电子器件和整机的组装、调试场所

二、防静电接地设计要求

1. 洁净厂房内金属物体包括洁净室(区)的墙面、门窗、吊顶的金属骨架,应与接地系统做可靠连接,导静电地面、活动地板、工作台面、座椅等应做静电接地。

2. 静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性,其主干线截面不应小于95mm2,支线最小截面应为2.5mm2

3. 与人体接触的静电接地应串接限流电阻,限流电阻的阻值宜为1MΩ。

4. 对电子产品生产过程中产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道,应采取防静电接地措施,其中有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

133 3260 1207