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电子工业洁净厂房防静电措施设计要求

发布时间:2022-06-02 19:18人气:

电子工业洁净厂房防静电措施设计要求如下:

1. 洁净厂房防静电环境中,防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求:

      (1)防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求;

      (2)防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2.5×104~1×109Ω;

      (3)防静电地面应设置导静电泄放设和接地连接,其地面对地泄放电阻值应为1×105~1×108Ω。

2. 洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计,应符合下列要求:

      (1) 一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面、墙面、柱面的表面电阻、对地电阻应为2.5×104~1×106Ω,摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s;

      (2) 二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚、门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻、对地电阻应为1×106~1×109Ω,摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V;

      (3) 三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚、门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2款的要求;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。

3. 洁净厂房防静电环境的门窗设计,应符合下列要求:

      (1) 应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面;

      (2) 金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地;

      (3) 室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。

4. 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求:

      (1) 各类装修材料应具有表面静电耗散性能,不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料;

      (2) 各类装修的饰面应平整光滑。

5. 洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。

6. 洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。

7. 洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。


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