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洁净室气体管道系统吹除和供给装置要求

发布时间:2022-06-04 09:53人气:

洁净室气体管道系统吹除和供给装置要求如下:

一、洁净室气体管道系统吹除要求

1. 气体管道各项试验合格后,应使用与洁净室洁净度级别匹配的洁净无油压缩空气或高纯氮气吹除管内污物,吹除气流流速应大于20m/s,直至末端排出气体在白纸上无污痕为合格。

2. 管道吹除合格后,应再以实际输送的气体,在工作压力下,对管道系统进行吹除,应无常声音和振动为合格。输送可燃气体的管道在启用之前,应用惰性气体将管内原有气体置换。

二、洁净室气体供给装置要求

1. 瓶装气体供给装置应安装在使用洁净室之外的房间,两室之间穿墙的管道应加套管,并应在管道与套管间隙填满不燃材

料并加密封。

2. 装置出口管道上的安全阀在安装前应进行阀门开启检查。开启压力、密封压力和回座压力应符合安全阀性能要求。

3. 集中式真空吸引装置应安装在远离洁净室的建筑物外,安装时应采取有效隔声防振措施,与其连接的弯管半径不应小于5倍管外径,过滤清除设施应安在排气口。


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