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洁净室气体系统分项验收要求

发布时间:2022-06-04 10:02人气:

6.7.1 洁净室气体系统分项验收应首先检查以下各项:

      (1) 各种成品应有产品合格证,材料应有质量证明文件。

      (2) 实际使用的管道材料和规格应符合设计要求。

      (3) 系统安装应完整、正确,连接应可靠。除楼层或区域总管与所安装系统的供气阀门(或供气管)不连接外,其他管路、阀门和附件都应安装连接完毕。

      (4) 不同系统的管道应有明显的识别标志,需装拆、检修、维护的地方必须有识别标志,每个支、吊架附近也应有识别标志。

6.7.2 洁净室气体系统的分项验收应包括以下主控项目:

      (1) 所有气体管道应进行气密检查,检查用压力表精度等级不应低于1.5级,指示压力应在表量程1/3~2/3之间。

      检验方法:检查记录。

      检验数量:全部系统管道。

      (2) 高纯气体管道安装完毕应彻底吹除,并对排气洁净度、干燥度和输送气体纯度进行检查。

      试验介质为管道实际输送的气体或氮气。试验介质的洁净度以微粒数衡量,干燥度以水痕量浓度衡量,纯度以氧、二氧化碳痕量浓度衡量。

      检验方法:检查有资质的检验单位的检验报告。

      检验数量:全部检验报告。

      (3) 按设计要求做管材样板检查的,管材轴向剖面长度不应小于60mm。

      检验方法:检查记录和样板。

      检验数量:抽查30%。

      (4) 对输送压力大于等于0.5MPa的可燃气体、有毒气体的管道焊接处应进行抽样射线照相检查,并应符合设计的焊缝等级要求。

      检验方法:X射线无破损检测。

      检验数量:全部。

      (5) 气体管道应在气密性检验合格后进行泄漏率检查,以设计压力保持24h后泄漏率不超过0.5%为合格。允许堵漏后再试验。

      泄漏率按下式计算:

公式.jpg

      式中:A--泄漏率(%)

                P1、P2-试验开始和结束时的绝对压力(MPa);

               T1、T2-试验开始和结束时的绝对温度(K)。


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