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洁净室微粒计数浓度检测方法

发布时间:2022-06-05 17:33人气:

洁净室微粒计数浓度检测方法如下:

1. 室内检测人员应控制在最低数量,不宜超过2人,面积超过100m2又需快速完成测定任务时,可适当增加人数。人员必须穿洁净服,应位于测点下风侧远离测点,动作要轻,保持静止。

2. 0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求:

      (1) 当采用光学粒子计数器(OPC)测定0.1μm至5μm的微粒计数浓度时,应按《GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范》第16.4.5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别。粒子计数器粒径分辨率应小于等于10%,粒径设定值的浓度允许误差应为±20%,并应按所测粒径进行标定,符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T 6167的规定。

      (2) 测点数可按式(E.4.2-1)求出:

 公式E.4.2-1.jpg

式中:nmin——最少测点数(小数一律进位为整数);

          A——被测对象的面积(㎡);对于非单向流洁净室,指房间面积;对于单向流洁净室,指垂直于气流的房间截面积;对于局部单向流洁净区,指送风面积。

      测点数也可按表2-1选用。

表2-1 测点数选用表

面积(㎡)

洁净度

5级及高于5级

6级

7级

8~9级

<10

2~3

2

2

2

10

4

3

2

2

20

8

6

2

2

40

100

16

40

13

4

2

32

10

3

200

80

63

20

6

400

160

126

40

13

1000

400

316

100

32

2000

800

623

200

63

      (3) 每一受控环境的采样点不宜少于3点。对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室,应适当增加采样点,并得到用户(建设方)同意并记录在案。

      (4) 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区高度(取距地0.8m,或根据工艺协商确定),当工作区分布于不同高度时,可以有1个以上测定面。

乱流洁净室(区)内采样点不得布置在送风口正下方。

      (5) 如建设方要求增加采样点,应对其数目和位置协商确定。

      (6) 每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据“非零检测原则”由下式求出:

 公式E.4.2-2.jpg

      式中:浓度下限单位为粒/L。

                每次采样最小采样量按表2-2选用。

表2-2 最小采样量

洁净度等级

不同等级下,大于等于所采粒径的最小采样量

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1级浓度下限/(粒/m3

1

0.24

-

--

-

-

采样量/L

3000

12500

-

-

-

-

2级浓度下限/(粒/m3

10

2.4

1

0.4

-

-

采样量/L

300

1250

3000

7500

-

-

3级浓度下限/(粒/m3

100

24

10

4

-

-

采样量/L

30

125

294

750

-

4级浓度下限/(粒/m3

1000

237

102

35

8

-

采样量/L

3

12.7

29.4

86

375

-

5级浓度下限/(粒/m3

10000

2370

1020

352

83

-

采样量/L

2

2

3

8.6

36

-

6级浓度下限/(粒/m3

100000

23700

10200

3520

832

29

采样量/L

2

2

2

2

3.6

102

续表2-2

洁净度等级

不同等级下,大于等于所采粒径的最小采样量

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

7级浓度下限/(粒/m3

-

-

35200

8320

293

采样量/L

-

-

-

2

2

10.2

8级浓度下限/(粒/m3

-

-

352000

83200

2930

采样量/L

-

-

-

2

2

2

9级浓度下限/(粒/m3

-

-

-

3520000

832000

29300

采样量/L

-

-

2

2

2

      注:表中最小采样量取到2 L,用2.83 L/min计数器时,则实际最小采样量大于2 L。表中最小采样量大于2.83 L的,可用2.83 L/min计数器采样多于1 min,或用28.3 L/min计数器采样1 min,余类推。

      (7) 每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值,3次平均值代表该点数值。

      (8) 当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时,可增加测点数。

      (9) 测单向流时,采样头应对准气流;测非单向流时,采样头一律向上。

      (10) 当要求0.1 μm~5 μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5%时,水平采样管长度也应符合附录D.3.6条的规定。

      (11) 若采样口流速与室内气流速度不相等,其比例应在0.3:1~7:1之间。

      (12) 当因测定差错或微粒浓度异常低下(空气极为洁净)造成单个非随机的异常值,并影响计算结果时,允许将该异常值删除,但在原始记录中应注明。

      每一测定空间只许删除一次测定值,并且保留的测定值不少于3个。

      (13)对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测,可采用顺序采样法,即将每次测定结果标注于图E.4.2上,当标注点落入不合格区时,即停止检测,结果为不达标;当标注点落入合格区时,停止检测,结果为达标;当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量已达到表2-2的最小采样量,累计微粒数仍小于20,即停止检测,结果为达标;当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量未达到最小采样量,但累计微粒数已超过20,即停止检测,结果为不达标。

图E.4.2.jpg

3. 对小于0.1μm的超微粒的检测,应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用。可采用凝结核计数器(CNC或CPC)加静电式分级器(迁移率分析仪)(DMA)、凝结核计数器(CNC或CPC)加扩散式分级器(DB)等,但必须有明确的性能说明书,或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50%,采样点数目应与2条对0.1 μm~5 μm的要求相同。

4. 大于5μm的大(宏)微粒的检测应符合下列要求:

      (1) 用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定:

      1)粒子计数器应经过大微粒的标定,符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T6167的规定,对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定,应采用不小于28.3L/min的计数器,对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L/min的计数器;

      2)当用28.3L/min计数器时,水平管不应长过0.5m,当用2.83L/min计数器时,原则上不宜有水平管;

      3)采样口面积应按等速采样原则确定,室内风速取平均风速。

      (2)用过滤器采集、显微镜检测时,应遵守下列规定:

      1)过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜。当过滤器采样口直径为25mm时,真空泵采样流量不小于7L/min,当过滤器采样口直径为47mm时,采样流量不小于28.3L/min。对于非单向流洁净室,总采样量不小于28.3L/min,对于单向流洁净室,总采放量不小于280L/min。

      取下滤膜,将滤膜放在清洁的盖玻片上(图E.4.4),采样面向上,放进有50℃左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸。对容积为600mL的烧杯,大约加入15mL丙酮,当做过3次样片时,再加入15mL丙酮,待滤膜透明后取出,再将盖玻片反向固定在载物片上(用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开),熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。

 图E.4.4.jpg

      2)计数时应把制好的标本片固定在显微镜(100倍)工作台的适合位置上,一张标本片上计数总面积不小于0.02×4mm2,在检测中应不断调整。  

3)测定之前,必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度,最后的计数浓度由下式得出:

 公式E.4.4.jpg

      式中:

      C0——滤膜基数密度(粒/mm2);

      C1——采样后计数的总采样粒数(粒);

      f0——滤膜有效面积(mm2);

      f1——采样后计数的总面积(mm2);

      q——采样流量(L/min);

      t——采样时间(min)。


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