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洁净室静压差检测方法和要求

发布时间:2022-06-05 15:58人气:

一、洁净室静压差检测

1. 静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在最大排风量条件下进行,并宜从平面上最里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。

2. 对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。

3. 有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向。

二、洁净室静压差控制标准要求

      静压差应按上面要求进行检验,并应符合下列规定:

1. 压差值应符合被测对象压差控制标准的要求。

2. 洁净度为5级或更高的单向流洁净室,开门状态下的出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。

3. 有不可关闭开口两边的洁净室,以开口风速代替两室压差,开口处从高级别向低级别的风速或按设计、工艺要求从一室流向另一室的风速应符合设计要求。当设计无明确要求时,不应小于0.25m/s。该室与其他相邻环境的压差仍应符合相关规定。

4. 当被测对象没有压差控制标准时,其结果应符合下列规定:

      洁净室与非洁净室之间的静压差应大于10 Pa;相邻不同洁净度级别洁净室之间的静压差应大于5 Pa;洁净室与室外静压差应大于12 Pa。

5. 当有排风时,测定值应为最大排风时的数值。


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