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洁净室的工作原理与分类

发布时间:2022-05-12 16:53人气:

      洁净室要提供满足工艺过程要求的合格洁净环境,应从设计、建造、调试和运行管理各方面遵循如图1所示的四个基本原则:

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图1 洁净工程设计的四个基本原则

1.防止洁净室外的颗粒物直接侵入室内

      主要采取以下技术措施:

      1)洁净室内维持正压,防止洁净度比该洁净室低的周围空气携带颗粒物及其他污染物通过围护结构的缝隙和孔洞直接进入室内;

      2)采用符合要求的空气净化系统对送风进行过滤。经高效过滤后的空气,不得被其后的管道、送风口等再污染,同时注意高效过滤器与安装密封设施,以免未经高效过滤的空气渗漏入室;

      3)对进入室内的人员和物料采取合格的净化措施,防止将污染物带入洁净室内。

2.防止颗粒物在洁净室内堆积(积聚)

      主要采取以下技术措施:

      1)洁净室围护结构内表面不应或尽量减少突出物和沟缝,以免堆积尘埃;

      2)室内的设备、管路、家具等应易于清扫;

      3)设置真空清扫系统或真空扫除机,定期清扫。

3.防止室产生颗粒物

      主要采取以下技术措施:

      1)洁净室内的建筑装修材料、设备、家具、用具等应不产尘或尽可能少产尘;

      2)室内人员应穿着合格的洁净服、遵循洁净室操作(动作)规程,以减少发尘;

      3)提高工艺过程的机械化、自动化程度,这对高级别洁净室尤为重要。

4.迅速有效地排除进入室内和室内发生的颗粒物

      主要采取以下技术措施:

      1)用经过净化的洁净空气及时排除室内发尘,可以采用“稀释冲淡”或“活塞置换”的手段来排除室内的发尘。

      2)用足够的风量保证必要的换气次数以及采用合理的气流组织来实现尘粒的排除,气流组织要考虑到室内工艺设备和发尘点的位置等实际情况。

      3)对发尘量比较大的设备可以采用局部排风设施。

      由此可知,这些基本原则的实施是要由规划、建筑、工艺、空气净化、设备材料以及运行管理等多方面共同配合才能的实现的。

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