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洁净室高纯气体介绍

发布时间:2022-06-15 10:22人气:

      高纯气体是指气体纯度≥99.9995%,含水量<5×10-4%的气体。

      洁净厂房广泛用于电子、生物医药、精细化工、精密机械、食品、化妆品等产品生产中,不同产品生产过程中对所用高纯度气体的品种、纯度以及气体中允许的杂质浓度或气体的品质要求差异很大。所用气体品种之多、要求之严莫过于半导体工业为最为典型的了。这里对半导体工业的高纯气体作一简单介绍。

一、半导体集成电路制造用高纯气体

1.高纯气体品种,按集成电路制造使用分:

      1)普通气体(又称大宗气体)。有:H2、N2、O2、Ar、He等。

      2)特种气体(掺杂、外延、离子注入、刻蚀等)如:Si、SiO、Cr、Al、Mo、W等。

2.按使用时的危险性分:

      1)可燃、自燃、易燃气体。如H2、CH4、H2S、NH3等。

      2)有毒气体。半导体工业所用气体大多对人体有毒有害。如:PH3、ASH3、B2H6等。

      3) 助燃气体。此类气体自身不燃,但与可燃物、可燃气体接触时有助燃的作用。如:O2、N2O、F2、HF等。

      4)窒息性气体。此类气体性质稳定,不燃、无毒。但当空气中氧含量降低到18%时,使人因缺氧而觉呼吸困难。如:N2、Ar、CO2、He等。

      5)腐蚀性气体。遇水即呈腐蚀性,但在干燥状态时不易腐蚀金属。如:HCl、PCl3、POCl3、HF等。

二、高纯气体的“三度”

1.气体纯度:气体中杂质气体的含量,通常用气体纯度的百分数表示,如:99.9999%,也用杂质气体含量的体积比如:ppm、ppb、ppt表示。

2.干燥度:气体中微量水分的含量,或称之为含湿量,通常用露点表示,如常压露点-70℃。

3.洁净度:气体中含有污染物粒子的数量,粒径为μm,数量为pc/m3。对压缩空气也用不可避免的固体残留物的多少表示,单位为mg/m3,其中包括了含油量。

 

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