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GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级

发布时间:2022-05-09 11:14人气:

1 范围

      本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质(包括分子、离子、原子、颗粒物)存在情况的表面洁净度分级系统。

      本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面,如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。

      注1:本文件仅考虑微粒子的化学性质,未考虑微粒子的物理性质。本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。

      注2:本文件不涉及污染产生的过程,不涉及与时间有关的影响因素(沉降、沉积、老化等)以及与过程有关的活动(如转移、处理等),也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。

2 规范性引用文件

      下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

      GB/T 25915.6 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇(GB/T 25915—2010,ISO14644-6:2007, IDT)

      注:ISO 14644-6:2007已废止,我国仍保留与之对应的国家标准。

3 术语和定义

      GB/T 25915.6界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

      按化学物浓度划分空气洁净度 air cleanliness by chemical concentration;ACC

      给定的某种或某组化学物质最大允许浓度,用ISO-ACCN级表示,单位为克每立方米(g/m3)。

      注:本定义不包括生物大分子,生物大分子视为微粒子。

3.2

      污染物类别 contaminant category

      沉积在关注表面时有特定和类似危害的一组化合物的统称。

3.3

      化学污染 chemical contamination

      对产品、工艺或设备有害的化学物质(非微粒子)。

3.4

      固体表面 solid surface

      固相与另一相之间的界面。

3.5

      表面 surface

      两相之间的界面。

      注:通常其中一相为固相,另一相为气相、液相或其他固相。

3.6

      按化学物浓度划分表面洁净度 surface cleanliness by chemical concentration;SCC 以化学物浓度所表示的表面洁净度状况。

3.7

      按化学物浓度划分表面洁净度等级 surface cleanliness by chemical concentration class

      N see

      以克每平方米(g/m2)为单位的表面化学物浓度的常用对数(以10为底)。

4 分级

4.1 洁净室及相关受控环境表面洁净度分级原理

      应使用分级标识说明等级。该标识为“ISO-SCC”,它描述了一个表面上允许的某种化学物质或某组化学物质的最大总化学物质浓度,SCC分级依据公式(1)计算的、以克每平方米(g/m2)表示的表面化学物的浓度。为了计算等级,所有其他单位都应转换为克每平方米(g/m2)。在需要对特定低浓度情况 予以说明时,表面化学物最大允许浓度可用公式(2)表示为每平方厘米原子数量ISO-SCCatomic。

4.2 按化学物浓度划分表面洁净度等级

      SCC等级应使用分级数Nsec表示。Nsec是以克每平方米(g/m2)为单位的Cscc浓度的常用对数指标。SCC等级应总是与其所关联的某种化学物质或某组化学物质同时标出。可以规定非整数浓度 Nscc级别,但只能保留一位小数。可根据公式(1)用Nsec确定Cscc。

Cscc=10Nscc  ( 1 )

故,Nscc = log10Cscc

      Cscc为以克每平方米(g/m2)为单位的某种或某组化学物质的最大允许浓度。测得的表面化学物浓度应不超过SCC的最大允许浓度。Cscc满足需方和供方预先商定的SCC。

      在各种情况下,Nscc级别数字应包括负号。

      注1: SCC级别数字只有与标示符(见4.3)一起使用时才有效。

      注2:将质量浓度(g/m2)换算为数量浓度(单位面积的原子数、分子数、离子数),见4.4。

      表1和图1给出了表面化学物浓度与ISO-SCC级别之间的对应关系。

      附录B列出的、对分级有影响的一些因素也应予以注意。

 

以上为标准部分内容,可点击下方链接下载标准全文:

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