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GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

发布时间:2022-05-09 14:03人气:

1 范围

      本文件给出了监测粒径限值不超过0.1 μm(100 nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。

      本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。

      注1:本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。

      注2:请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。

      注3:本文件未考虑健康与安全事项。

2 规范性引用文件

      本文件没有规范性引用文件。

3 术语和定义

      下列术语和定义适用于本文件。

      ISO和IEC在以下网址维护用于标准化的术语数据库:

      IEC Electropedia:可从 htps://www.electropedia.org/获取;

      ISO在线浏览平台:可从https: //www.iso.org/obp获取。

3.1 通用

3.1.1

      洁净室 cleanroom

      空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间,其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子受控。

      注1:规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。

      注2:也可对影响洁净度等级的其他因素,如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等,以及影响表面洁净度 等级的其他因素,如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等,作出规定并进行控制。

      注3:温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数,也可按要求受控。

      [来源:GB/T 25915.1—2021,3.1.1]

3.1.2

      洁净区 clean zone

      空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行使进入、产生和滞留于空间的粒子受控。

      注1:空气悬浮粒子浓度的级别已确定。

      注2:也可以对影响洁净度等级的其他因素,如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等,以及影响表面洁净度等级的其他因素,如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等,作出规定并进行控制。

      注3:洁净区可以是限定于洁净室内的空间,也可用隔离装置实现。隔离装置既可设在洁净室内也可在洁净室外。

      注4:温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数,也可按要求受控。

      [来源:GB/T 25915.1—2021 ,3.1.2]

3.2 尺寸

3.2.1

      纳米尺度 nanoscale(nanometer scale)

      尺寸范围约在1 nm~100 nm。

      注:在此尺寸范围内粒子的特性一般不是从较大尺寸的推导而得,但也并非绝对。

      [来源:ISO/TS 800042:2015, 2.1]

3.2.2

      分割粒径 particle size cutoff

      D50

      计数效率为50%的粒径。

      注:计数效率解释见附录B。

3.3 空气中的粒子

3.3.1

      纳米粒子 nanoparticle (nanometer particle)

      所有外尺寸均为纳米尺度(3.2.1)、最长轴与最短轴没有显著差别的纳米物体。

      注:若纳米物质的最长轴线与最短轴线差别显著(一般大于3倍),倾向于使用术语纳米棒或纳米片,而不用纳米粒子。

      [来源:ISO/TS 800042:2015, 4.4]

3.3.2

      粒径分布 particle size distribution

      以累积分布表示的粒子浓度与粒径的函数关系。

      [来源:GB/T 25915.1—2021,3.2.4]

3.3.3

      气溶胶 aerosol

      悬浮于气体中的固体的或液体的粒子系统。

      [来源:ISO 15900:2009,2.1]

3.4 占用状态

3.4.1

      动态 operational

      洁净室(3.1.1)或洁净区(3.1.2)设施按议定方式运行,且有规定数量的人员按议定方式工作的状态。

      [来源:GB/T 25915.1—2021,3.3.3]

3.5 测量仪器

3.5.1

      凝结粒子计数器 condensation particle counter ; CPC

      测量气溶胶(3.3.3)粒子数量浓度的仪器。

      注1:探测的粒径一般介于几纳米到几百纳米之间。

      注2: CPC可与差分电迁移率分析仪(DEMC)一起使用的探测器。

      注3:在某些情况下,凝结粒子计数器也可称为凝结核计数器(condensation nucleus counter,CNC)。

      [来源:ISO 15900:2009,2.5]

3.5.2

      计数效率 counting efficiency

      给定粒径范围内读出的粒子浓度与实际粒子浓度之比。

      [来源:GB/T 25915.3—2010,3.6.5]

4 监测

4.1 概述

      就测量而言,唯一重要的粒子特性是其“当量直径”。

4.2 原理

      需方规定的监测限值和要求,是根据需方和供方的商定,按规定测试方法进行测试并提供测试结果与测试条件的文件来验证的。见GB/T 25915.2—2021中附录A,它规定了以预期使用的风险评估为依据的监测计划的要求。所获得的数据提供了洁净室与纳米粒子浓度有关的性能的佐证。

4.3 方法

      为监测空气中的纳米尺度粒子,用CPC对空气中纳米尺度粒子计数最有效。使用CPC进行监测 的标准方法见附录A。按纳米尺度粒子监测空气洁净度的方法,应给出系统性的计划、良好定义了的步骤、阐明评估如何实施。一般来说,设施的告警值和行动值依据的是风险评估。如果供方和需方有要求,则可协商定立限值。

      计数方法的标准内容应包括:

      ——待测的纳米尺度粒径;

      ——采样和分析对时间的相关性;

      ——采样量;

      ——采样点位置;

      ——样本数量;

      ——工艺/产品的关键性;

      ——洁净区设计/平面图。

      至少与CPC测量具有可比性能的其他方法和仪器也可做出规定。如若没有规定的或商定的其他替代方式,则使用此标准方法。

      应使用校准过的仪器实施符合性验证测试。

5 检测报告

      每个洁净区的检测结果应记录下来并以综合报告提交。数据总结要包括不良趋势监测数据的审核,运行水平,与4.2规定的监测计划相符的调查要求。

      检测报告应包括如下内容:

      a)检测机构的名称、地址和检测日期;

      b)本文件编号,如 GB/T 25915.12—2021 ;

 

以上为标准部分内容,可点击下方链接下载标准全文:

下载地址:《GB/T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdf

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