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GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

发布时间:2022-05-09 10:44人气:

1 范围

      GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A〜附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。

      本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品,按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05 μm〜500 μm的粒子。

      本部分对以下事项未予考虑;

      ——特定工艺的洁净度及适合性要求;

      ——表面的清洁步骤;

      ——材料特性;

      ——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项;

      ——分级和测试统计方法的选择和使用;

      ——粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

2 规范性引用文件

      下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

      GB/T 25915.6—2010 洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇(ISO 11644-6 :2007,1DT)

3 术语和定义

      GB/T 25915.6—2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

      特定粒径范围描述符 descriptor for specific particle size ranges

      区分特定粒径范围SCP水平的描述符。

      注;此描述符可用于特别关注的或在分级体系之外的粒径范围,并可唯独说明或作为SCP等级的补充。

3.2

      直接测量法 direct measurement method

      没有任何中间步骤的测量污染方法。

3.3

      间接测量方法 indirect measurement method

      带有中间步骤的测量污染方法。

3.4

      固体表面 solid surface

      固体与另一相之间的界面。

3.5

      表面粒子 surfuce particle

      离散分布并粘附在所关注表面上的固体或液体物质,不包括覆盖整个表面的薄膜类物质。

      注:表面粒子是通过化学和(或)物理相互作用而粘附的粒子。

3.6

      表面洁净度 surface cleanliness by particle concentration ; SCP

      表面粒子浓度方面的状况。

      注:表面洁净度是由材料与型式特点、各种应力负荷(作用于表面上负荷的复杂性)以及起主导作用的环境条件和其他因素所决定的。

3.7

      表面洁净度等级 surface cleanliness by particle concentration class

      SCP 等级 SCP class

      每平方米表面关注粒径粒子浓度最大允许值的级别(SCP1级至8级)。

3.8

      表面洁净度分级 surface cleanliness by particle concentration classification

      SCP 分级 SCP classification

      以ISO SCP N级表示的代表每平方米中关注粒径的表面粒子最大允许浓度(或测定水平的过程)。

3.9

      表面粒子浓度 surface particle concentration

      关注的表面区域单位面积离散粒子的数目。

4 缩略语

      下列缩略语适用于本文件。

      AFM:原子力显微法(atomic force microscopy)

      CNC:凝聚核计数器(condensation nucleus counter)

      EDX:能量色散 X 射线光谱法(energy dispersive X-ray spectroscopy)

      ESCA:化学分析电子能谱法(electron spectroscopy for chemical analysis)

      IR:红外(吸收式光谱法)[infraredCabsorption spectroscopy)]

      OPC:光学粒子计数器(optical particle counter)

      PET :聚乙烯苯二中酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate)

      SCP:按粒子浓度划分表面洁净度(surface cleanliness by particle concentration)

      SEM :扫描电子显微镜法(scanning electron microscopy)

      UV:紫外线(光谱仪)[ultraviolet (spectroscopy)]

      WDX;波长色散 X-射线光谱(wavelength-dispersive X-ray spectroscopy.)

5 分级体系

5.1 ISO-SCP分级公式

      在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度划分的表面洁净度级别(SCP)以等级数字N表示,它规定了表面上所关注粒径粒子的最大允许浓度。N由式(1)确定,它表示某一关注粒径(D)粒子每平方米表面所允许的最大总浓度 :Cscp;D

公式1.jpg 

      式中:

      CSCP;D——每平方米表面上大于或等于所关注粒径粒子的最大允许总浓度,保留不多于3位非零有效数字,修约到最近的整数;

      N——SCP分级数字,限于SCP 1级〜SCP 8级;SCP分级数字N所对应的是以微米为单位的被测粒径;

      注:N表示的是基准粒径为1 μm的粒子浓度以10为底的指数;

      D——关注粒径,单位为微米(μm);

      k——常数1,单位为微米(μm)。

      注1:由于粒子生成和传输的动态特性,依据粒子浓度的SCP等级是可依时间和工艺而定的值。

      注2:由于统计评估的复杂性及众多参考资料.GB/T 25915本部分中未说明对分级和测试统计方法的选择与应用。

      依式(1)导出的浓度CsCPE应作为确定值使用。表1显示的是所选定的SCP等级和关注粒径对应的表面最大允许累积浓度。

 

以上为标准部分内容,可点击下方链接下载标准全文:

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