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GB/T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度ACC等级

发布时间:2022-05-09 10:06人气:

1 范围

      GB/T 25915本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的 浓度,对空气化学污染(ACC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。

      本部分目前只考虑洁净室运行工况下空气中100 g/m3~10-12 g/m3的化学污染物浓度。

      本部分不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、 工艺和生产。

      本部分无意探讨空气化学污染物的特性。

      本部分不包含对表面化学污染的分级。

2 规范性引用文件

      下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

3 术语和定义

      GB/T 25915.6-2010/IS014644-6:2007, IDT《洁净室及相关受控环境——第6部分:词 汇》中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1 一般术语

3.1.1

      化学污染 chemical contamination

      危害产品、工艺、设备的非颗粒物质。

3.1.2

      按化学物浓度划分空气洁净度 ACC  air cleanliness by chemical concentration

      以ISO-ACC表示的、按化学物浓度划分空气洁净度的结果,代表了给定的某种或某组 化学物种类、以克每立方米为单位的最大允许浓度。

      注1:生物大分子归为粒子,不包含在本定义中。

3.1.3

      空气化学污染 air chemical contamination

      存在于空气中、其化学特性可对产品、工艺、设备有不良影响的任何物质。

3.1.4

      按化学物浓度划分表面洁净度 SCC- surface cleanliness by chemical concentration 以化学物浓度所表示的表面洁净度状况。

3.1.5

      表面化学物浓度 surface chemical concentration

      存在于表面上、因所具有的化学特性可对产品、工艺、设备有不良影响的任何物质。

3.1.6

      污染物类别 contaminant category

      沉积在关注表面时有特定和类似危害结果的一组化合物的统称。

3.1.7

      释放气体 out-assinq

      从材料中释放出气态或蒸汽态分子物质。

3.1.8

      按化学物浓度等级划分空气洁净度(ACC) air cleanliness by chemical concentration(ACC) class

      表示某给定的化学物种类或某组化学物种类的最大允许浓度的、以克每立方米为单位的分级数字。

      注1:最大允许浓度规定见表1,或按4.2节中的等式标定N。

      注2:按GB/T 25915/ISO 14644本部分的分级仅限于0(洁净度最差)至-12(洁净度最佳)级。

      注3: ACC等级数字只有与规定了相应的化学物种类或成组化学物类别的ACC描述符一起使用时才有效。

      注4:空气化学物洁净度级别负号(-1至-12)是ACC等级数字N的组成部分,并必须注明。空气化学物洁净度必须有负号(0级除外)。

      注5: ISO分级可以是小数点后保留1位数字的非整数数字。

3.2 污染物类别

3.2.1

      酸 acid

      化学反应特性为接受电子对并建立新化学键的物质。

3.2.2

      碱 base

      化学反应特性为给出电子对并建立新化学键的物质。

3.2.3

      生物毒素 biotoxic

      危害生物、微生物、生物组织或细胞个体生长与存活的物质。

3.2.4

      可凝聚物 condensable

      可在洁净室运行状态下因凝结而沉积在表面上的物质。

3.2.5

      腐蚀剂 corrosive

      使表面产生破坏性化学变化的物质。

3.2.6

      掺杂物 dopant

     经产品本体吸 收或(和)经扩散后与本体合为一体,即使为微量亦可改变材料特性的物质。

3.2.7

      有机物 organic

      以碳为基本元素,含氢,含或不含氧、氮等其他元素的物质。

3.2.8

      氧化剂 oxidant

      沉积在关注表面或产品上后,形成氧化物(O2/O3)或参与氧化还原反应的物质。

4 分级

4.1 概述

      应按4.2给出的分级描述符表示分级。描述符的形式为“ISO-ACC”,它明确了空气中某类污染物、某种污染物、或某组污染物的最大允许浓度。

4.2 ISO-ACC描述符格式

      ACC等级数字只有与该等级所适用的、由ISO-ACC描述符所说明的某类污染物、某种污染物、或某组物质一起使用时方为有效。

      ISO-ACC描述符的格式为:

      ISO-ACCN(X)级

      其中:

      x——是某化学物质或一组化学物质,至少包括:

      酸(ac);

      碱(ba);

      生物毒素(bt);

      可凝结物(cd);

      腐蚀物(cr);

      掺杂物(dp);

      有机物总量(or);

      氧化剂(ox);

      或一组物质,或某种物质。

      N—ISO-ACC等级,它是浓度Cx的常用对数值,其范围为0 ~ T2, Cx的单位为g/m3

      N可以是小数点后保留一位数的非整数等级;

      N= log10[Cx];

      例1:样本为n-甲基毗咯烷酮(NMP),空气污染物所测值为8E-7g/m3, n=-6,097,处 于-6级的E-6/m3的等级限值之内。

      表述为:ISO-ACC-6 级[NMP]

      例2:样本为有机化合物,总有机化合物(TOC)的实测值为6E-5g/m3,处于-4级lE-4g/m3

 

以上为标准部分内容,可点击下方链接下载标准全文:

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